薄膜处理中离子对锆沉积量的影响分析

王连, 彭杨, 周宪民, 张蕾, 刘行, 周瑜

Analysis of the Influence of Ions on Zirconium Deposition in Thin Film Processing

WANG Lian, PENG Yang, ZHOU Xian-min, ZHANG Lei, LIU Hang, ZHOU Yu

现代涂料与涂装 . 2025, (3): 6 -9 .